对中国芯片来讲目前最高的一个难度,就是体现在了光刻机的身上,作为芯片生产的最核心设备之一,光刻机技术一直都被西方国家掌握着,而最先进的光刻技术则是在荷兰的ASML公司。
EUV极紫光光刻机光学系统复杂,可是说是突破光刻机的重中之重,上海的微电子SMEE研制的光刻机,使用的镜片高达数万美元一枚,除了镜片的要求之外,还需要的就是双工作台。
在ASMLTwinscan双工件台系统,也就是测光台与曝光台两个工件台相对独立,一个为晶圆做曝光的同时,另一个工件台则是能够为晶圆做后续的准备,如此循环交互之下大大地提高了光刻机的产能,正是因为这一项双工作台的技术,让荷兰的ASML公司成为了,世界上顶尖的芯片制造公司。
作为他们的独门绝技,没有想到有一天竟然会被中国企业突破,华卓精科的创始人朱煜从ASML宣布双工作台的时候,就已经开始着手研发这一项技术,一度因为没有经费和技术而搁浅,直到成立了华卓精科之后才开始真正突破,目前这一项技术已经正式的突破了
ASML的核心科技已经被正式突破,中国芯的诞生将会加快许多,你们对此事怎么看?欢迎评论区留言关注!